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结构分类

普通管式炉

开启管式炉

立式管式炉

旋转管式炉

滑动管式炉

CVD系统

温区分类

单温区

两温区

三温区

五温区

七温区

多温区

温度分类

800℃

1100℃

1200℃

1400℃

1500℃

1600℃

1700℃

1800℃

2000℃

气源分类

混气系统

真空系统

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